NH
Высокоточный бесконтактный измерительный инструмент
Область применения данного прибора - измерение поверхностей.
Технические особенности
Серия приборов NH имеет лазерный датчик точечной автофокусировки. Сами приборы обладают высочайшей точностью измерений: разрешение шкалы по оси Z составляет 1 нм. Метод точечной автофокусировки нечувствителен к коэффициенту отражения поверхности. Уникальная оптика позволяет измерять углы более 45 градусов.
• Функция выравнивания плоскостности основания. Выравнивание по XY - выравнивает координаты измерения по отношению к координатам образца.
• Функция автоматического измерения. Функция макросов позволяет автоматически выполнять несколько видов измерений: высоты, диаметра, шероховатости, ширины, глубины и двумерного профиля.
X | Y | Z (AF) | |
Диапазон измерения (мм) | 150 | 150 | 10 |
Разрешение шкалы (мкм) | 0,01 | 0,01 | 0,001 |
Точность (мкм) | 0,5+2,5L/1000 | 0,5+2,5L/1000 | 0,1+0,3L/10 |
Повторяемость (мкм) | ±1 | ±1 | <0,01 |