Атомно-силовые микроскопы
Компания «Импэкс Крафт» является индустриальным партнером компании «КСИЛЛЕКТ» по производству и внедрению атомно-силовых микроскопов..
Атомно-силовые микроскопы серии N-lekta обеспечивают возможность проведения измерений на образцах размерами от 40х40 мм до 200х200 мм с максимальной толщиной до 40 мм, обеспечивая при этом повторяемость позиционирования не более 1 мкм.
Метод атомно-силовой микроскопии незаменим для определения топографии (расположение и размеры) микроструктур, контроль которых является важнейшей задачей при разработке технологических процессов в микроэлектронике и литографии.
Материалы
Преимущества
-
Высокое качество изображения
-
Более 50 методик исследований в базовой конфигурации
-
Автоматический подбор режимов и параметров сканирования
-
Автоматическое выполнение программ измерений
-
Широкие возможности адаптации оборудования под требования заказчика
Особенности
Полная автоматизация всех стандартных процедур (смена измеряемой поверхности, настройка системы регистрации, подвод зонда, выбор параметров сканирования).
Отображение перемещений моторизованного предметного столика в режиме реального времени с обеспечением повторяемости позиционирования менее 1 мкм при исследовании образцов с размерами 200х200 мм.
Использование уникальной системы подбора параметров и интуитивно понятного интерфейса для покадровых измерений снижают трудоемкость и увеличивают эффективность длительных серийных измерений массивов образцов, в т.ч. крупногабаритных.
Вибро- и акустическая изоляция платформы соответствуют высоким требованиям к проведению измерений на АСМ.
Встроенная система термостабилизации с погрешностью 0,05 °C позволяет практически полностью нивелировать термодрейф до 0,2 нм/мин и менее.